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搜索到799篇“ 磁控溅射靶“的相关文章

异型腔内壁蒸镀磁控溅射靶系统: 本发明异型腔内壁蒸镀磁控溅射靶系统，涉及对超导加速腔体内壁溅射镀膜的高能脉冲磁控溅射领域。本发明包括适于装载超导加速腔体的真空机构、设于超导加速腔体内腔中的磁控溅射靶机构和与磁控溅射靶机构连接的驱动机构。本发明实现了环状...; 董鹏王艳江赵洋李军

磁控溅射靶冷却系统: 本发明提供一种磁控溅射靶冷却系统，磁控溅射靶包括靶材和磁体，磁控溅射靶冷却系统包括冷头和储液箱，冷头包括均温板，均温板设于靶材和磁体之间，均温板设有顶部具有开口的腔体，腔体具有进口和出口，储液箱用于盛放金属流体，进口和出...; 乔梦文田利丰崔云涛刘静

一种柱形磁控溅射靶: 本实用新型涉及一种柱形磁控溅射靶，包括：磁芯棒、靶头、靶材管；磁芯棒包括磁铁芯管和芯轴管，芯轴管长于磁铁芯管，磁铁芯管套设固定在芯轴管上，磁铁芯管与芯轴管同轴设置，磁铁芯管上设有磁铁组，磁铁组包括若干扇环形永磁铁，永磁铁...; 向必忠温海涛谢玉生

一种磁控溅射靶座及磁控溅射设备: 本申请公开了一种磁控溅射靶座及磁控溅射设备，涉及靶座技术领域。用于解决现有技术中磁控溅射靶座为一体成型，从而增加了制造磁控溅射靶座成本的问题。所述靶座包括靶座本体、导电环、封环和电源；靶座本体上开有镶嵌槽和安装腔，安装腔...; 杨明王子彤解庆权王刚邢雪刘畅王磊石也琛

一种矩形磁控溅射靶以及磁控溅射装置: 本发明公开一种矩形磁控溅射靶以及磁控溅射装置，涉及磁控溅射技术领域。该矩形磁控溅射靶包括底座组件、磁性组件、上盖和多块靶材，其中，底座组件，具有安装面。磁性组件设置于底座组件的安装面上。上盖盖设于磁性组件远离底座组件的一...; 吴向方梁玉生吴煦梁家禄蔡豫杨涛母立民

一种靶面磁场分布宽度可调的平面磁控溅射靶: 本发明涉及磁控溅射技术领域，具体涉及一种靶面磁场分布宽度可调的平面磁控溅射靶，包括导磁座以及设置在导磁座上的靶材部件，还包括设置于导磁座以及靶材部件之间的磁体部件，磁体部件包括设置在导磁座上的中心磁体以及若干移动磁体组，...; 朱国刘文玉杜琪鑫黄坜平

一种平面磁控溅射靶旋转装置及磁控溅射镀膜机: 本实用新型公开了一种平面磁控溅射靶旋转装置及磁控溅射镀膜机，该装置包括：第一齿盘；第二齿盘，与所述第一齿盘适配啮合，所述第一齿盘和所述第二齿盘上分别设置有平面靶，两个所述平面靶均位于所述第一齿盘、所述第二齿盘的同一侧；驱...; 朱显君沈聚丰夏伟马玉升李龙哲

提高靶材利用率的磁控溅射靶及控制方法、磁控溅射设备: 本申请提出一种提高靶材利用率的磁控溅射靶及控制方法、磁控溅射设备，该提高靶材利用率的磁控溅射靶包括靶座、磁铁组件及多个检测传感器；所述靶座设有固定靶材的固定装置；所述磁铁组件设置于所述靶座内部，且与直流电源连接，所述直流...; 郭挑远

一种上下端分别进出水的细长管内壁镀膜用的磁控溅射靶: 本发明公开了一种上下端分别进出水的细长管内壁镀膜用的磁控溅射靶，其包括靶头组件、靶管组件和尾座固定组件，靶头组件设有进水口、进水通道、进气口、连接气道、传动机构和转轴，传动机构连接在转轴上，尾座固定组件设有出水口和水接管...; 李志方冯晓庭龙本洋

一种磁控溅射靶: 本实用新型的磁控溅射靶，其包括壳体、靶材、磁力件、极板、气体流道，靶材安装于壳体顶部的敞开口并架设在极板上，磁力件为电磁铁线圈，且通过安装座架设在壳体底部内侧，磁控溅射靶还包括用于将安装座与极板绝缘隔开的绝缘隔垫，气体流...; 缪同群谢圣鸣

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张斌: 作品数：199被引量：126H指数：7; 供职机构：中国科学院兰州化学物理研究所; 研究主题：磁控溅射高功率脉冲富勒烯石墨烯磁控溅射靶

张俊彦: 作品数：429被引量：592H指数：12; 供职机构：中国科学院兰州化学物理研究所; 研究主题：摩擦学性能摩擦学富勒烯石墨烯性能研究

高凯雄: 作品数：139被引量：39H指数：4; 供职机构：中国科学院兰州化学物理研究所; 研究主题：富勒烯高功率脉冲磁控溅射靶离化公度

强力: 作品数：111被引量：41H指数：3; 供职机构：中国科学院兰州化学物理研究所; 研究主题：橡胶碳基高功率脉冲橡胶基磁控溅射靶

王健: 作品数：21被引量：28H指数：3; 供职机构：兰州理工大学石油化工学院; 研究主题：磁控溅射靶高功率脉冲离化物理气相沉积离子源