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- 一种硅基微通道散热器
- 一种硅基微通道散热器，由底座、微通道基板、微通道盖板及上盖等组成。微通道底座上有开孔，微通道基板放置在底座的开孔中，使得微通道基板可以与热源面直接接触，同时又可以保护硅基微通道基板。微通道基板上刻蚀有微通道。微通道盖板与...
- 饶锡新金城肖承地张海涛
- 硅基微通道固液界面传热性能的研究
- 随着微电子器件功率与集成度的持续提升,高热流密度散热问题对现代热管理技术提出了严峻挑战。其中,微通道散热技术被视为应对这一问题的关键方案。微通道散热器的的工作原理基于冷却液在其内部流动时与流道内壁进行的热交换过程,因此固...
- 刘志凯
- 关键词：界面热阻
- 硅基微通道热沉制备与液冷散热性能研究
- 2024年
- 为解决射频组件内热流密度350 W/cm^(2)的GaN功放芯片散热问题,设计并制备了一种分段式平直流道硅基微通道热沉。对热沉进行数值模拟,研究冷却液种类、流道槽宽和槽深对热沉散热性能和流动特性的影响,选择合适的冷却液,并对热沉进行流道尺寸优化。结果表明,65#防冻液最适合作为大功率射频组件散热的冷却液,流道槽宽同时影响热沉的散热能力和流阻,流道槽深只影响热沉的流阻,对热沉的散热能力几乎无影响。可通过优化流道槽宽调节散热能力,通过优化流道槽深调节流阻,实现热沉的解耦设计。优化后的热沉槽宽50μm、槽深500μm,满足射频组件内GaN功放芯片壳温<85℃,进出液口压差<100 kPa的使用要求。
- 陈显才林佳钟凯超李阳阳
- 关键词：微通道热沉散热性能
- 硅基微通道和薄膜热电制冷器集成冷却芯片的性能及控制策略研究
- 李美勇
- 嵌入加热结构的硅基微通道散热器及应用方法与制备方法
- 本发明涉及微电子散热技术领域，公开了一种嵌入加热结构的硅基微通道散热器及其应用方法与制备方法。该微通道散热器由两片硅片键合而成，在进液口及进液分流区域对应的键合层内布置加热结构和温度传感器，加热结构与温度传感器的馈电端通...
- 卢茜张剑李阳阳向伟玮冯媛汪志强蒋苗苗陈春梅董乐
- 基于流固热耦合的硅基微通道散热器特性分析被引量：3
- 2022年
- 通过对高热流度散热条件下内嵌平行微通道和岐管式微通道结构的两层多芯片硅基微通道散热器进行仿真分析,对比两种结构的流动和传热特性差异,进而对该晶圆级键合的硅基板进行热应力耦合仿真,分析两种不同结构下各层硅基板的应力分布。系统设计中单芯片热流密度为1000 W/cm^(2),芯片热耗共640 W,流道采用串并联对称设计。平行微通道和岐管式微通道的特征宽度为0.2 mm,高度/深度为0.35 mm。结果表明,相比平行微通道,岐管式微通道可获得更低的芯片温度,更陡峭的流阻特性曲线,但均温性相当;不同结构和温度分布导致的应力集中区域和翘曲变形方向不一致。
- 黄豪杰钱吉裕魏涛
- 关键词：硅基微通道
- 一种硅基微通道散热器
- 一种硅基微通道散热器，由底座、微通道基板、微通道盖板及上盖等组成。微通道底座上有开孔，微通道基板放置在底座的开孔中，使得微通道基板可以与热源面直接接触，同时又可以保护硅基微通道基板。微通道基板上刻蚀有微通道。微通道盖板与...
- 饶锡新金城肖承地张海涛
- 文献传递
- 用于电子芯片的硅基微通道流体和热电冷却器
- 用于冷却微芯片的冷板。流体通道形成在半导体板中，每一个通道由侧壁限定。侧壁掺杂有一系列交替的n型和p型区域，从而在每一个侧壁中产生多个p‑n接合部。电触点横跨p‑n接合部设置，从而在侧壁内建立多个热电冷却(TEC)装置。...
- 高天翼
- 嵌入加热结构的硅基微通道散热器及应用方法与制备方法
- 本发明涉及微电子散热技术领域，公开了一种嵌入加热结构的硅基微通道散热器及其应用方法与制备方法。该微通道散热器由两片硅片键合而成，在进液口及进液分流区域对应的键合层内布置加热结构和温度传感器，加热结构与温度传感器的馈电端通...
- 卢茜张剑李阳阳向伟玮冯媛汪志强蒋苗苗陈春梅董乐
- 文献传递
- 基于紫外激光对硅基微通道刻蚀分析被引量：1
- 2021年
- 紫外激光具有波长短、速度快、加工精度高、热影响区小以及无损加工等优点,针对紫外激光加工过程中,不同参数对刻蚀结果产生不同的影响,实验中通过控制单一变量法,设计了扫描速度、扫描次数、能量密度、重复频率、离焦量等不同参数对刻蚀结果的影响。实验结果表明,刻蚀宽度随能量密度的增加而增加,但是增加率不断降低;减小扫描速度,可以刻蚀出深度较深并且边缘工整的微通道;随着扫描次数的增大,激光刻蚀的深度不断增大,但增大率在不断的减小,刻蚀深度过深,激光将不会对沟道再进行刻蚀。实验中通过优化激光刻蚀参数,得到了刻蚀宽度为146μm、刻蚀深度为25.665μm、微通道边缘整齐,边缘粗糙度为7μm,沟道的垂直度将近90°的L型硅基微通道。
- 单存良梁庭梁庭王文涛雷程李奇思
- 关键词：紫外激光器刻蚀深度
相关作者
- 徐进良
- 作品数：508被引量：1,068H指数：16
- 供职机构：华北电力大学
- 研究主题：微通道 有机朗肯循环 传热 超临界二氧化碳 工质
- 甘云华
- 作品数：100被引量：353H指数：12
- 供职机构：华南理工大学电力学院
- 研究主题：乙醇 微尺度 数值模拟 小尺度 微尺度燃烧
- 闫志国
- 作品数：60被引量：0H指数：0
- 供职机构：华南理工大学
- 研究主题：锂离子电池 集流体 直接甲醇燃料电池 铜 车用电机
- 吴慧英
- 作品数：125被引量：340H指数：9
- 供职机构：上海交通大学
- 研究主题：微通道 传热 强化换热 强化传热 微通道热沉
- 万珍平
- 作品数：460被引量：443H指数：12
- 供职机构：华南理工大学
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