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电容式加速度计: 本发明公开了一种电容式加速度计，包括基板及第一半导体结构层。第一半导体结构层设置在基板上，包括第一质量块、第一及第二支撑基座、第一及第二弹性件，及至少二第一梳状电容组及至少二第二梳状电容组。第一及第二支撑基座分别对应第一...; 沈靖凯; 文献传递

电容式加速度计: 本发明提供一种电容式加速度计，包括基板、检测质量块及至少一个支撑基座，支撑基座固定在所述基板上，检测质量块通过一相对设置的弹片以非对称的方式悬置在支撑基座的表面，在基板上相对设置有至少两个电极，电极分别对应于检测质量块质...; 裘进; 文献传递

电容式加速度计: 本发明公开了一种电容式加速度计，包括基板及第一半导体结构层。第一半导体结构层设置在基板上，包括第一质量块、第一及第二支撑基座、第一及第二弹性件，及至少二第一梳状电容组及至少二第二梳状电容组。第一及第二支撑基座分别对应第一...; 沈靖凯; 文献传递

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电容式加速度计: 本发明提供一种电容式加速度计，包括一第一可动梳齿组，由多个第一可动梳齿组成；一第二可动梳齿组，由多个第二可动梳齿组成；一第一固定梳齿组，由多个第一固定梳齿组成，每相邻的两个第一固定梳齿形成一第一梳齿槽，一所述第一可动梳齿...; 裘进; 文献传递

电容式加速度计: 本发明提供一种电容式加速度计，包括基板、检测质量块及至少一个支撑基座，支撑基座固定在所述基板上，检测质量块通过一相对设置的弹片以非对称的方式悬置在支撑基座的表面，在基板上相对设置有至少两个电极，电极分别对应于检测质量块质...; 裘进; 文献传递

电容式加速度计: 本发明公开了一种电容式加速度计，包括基板及第一半导体结构层。第一半导体结构层设置在基板上，包括第一质量块、第一及第二支撑基座、第一及第二弹性件，及第一及第二梳状电容组。第一及第二支撑基座分别对应第一及第二轴向。第一弹性件...; 沈靖凯

电容式加速度计: 本发明公开了一种电容式加速度计，包括基板及第一半导体结构层。第一半导体结构层设置在基板上，包括第一质量块、二第一支撑基座、第二支撑基座、二第一弹性件、第二弹性件，及第一及第二梳状电容组。二第一及第二支撑基座分别对应第一及...; 沈靖凯; 文献传递

电容式加速度计: 本发明公开了一种电容式加速度计，包括基板及第一半导体结构层。第一半导体结构层设置在基板上，包括第一质量块、第一及第二支撑基座、第一及第二弹性件，及第一及第二梳状电容组。第一及第二支撑基座分别对应第一及第二轴向。第一弹性件...; 沈靖凯; 文献传递

电容式加速度计: 一种电容式加速度计，包括具有上端盖极板的上端盖、有下端盖极板的下端盖、具有质量块极板上极板和质量块下极板的质量块、圆筒体和八根弹性支杆，所述的上端盖和下端盖与圆筒体相结合，将所述的弹性支杆固定，所述的质量块通过所述的弹性...; 刘芳张涛孙明营孙平平朱健强

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