搜索到 篇“ 氮化硅薄膜 “的相关文章

相关作者

陈大鹏
作品数：677被引量：462H指数：11
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 刻蚀 焦平面阵列 MEMS 沟道
叶甜春
作品数：849被引量：675H指数：10
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：沟道 X射线光刻 半导体器件 版图 衬底
欧毅
作品数：139被引量：103H指数：6
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：氮化硅薄膜 刻蚀 MEMS 牺牲层 微机电系统
蒋庄德
作品数：1,021被引量：1,058H指数：15
供职机构：西安交通大学
研究主题：传感器芯片 电极 传感器 芯片 压阻
蒋亚东
作品数：1,491被引量：1,376H指数：14
供职机构：电子科技大学
研究主题：基板 有机电致发光器件 柔性衬底 气体传感器 导电聚合物