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平面研磨方法
本发明是一种晶圆的平面研磨方法,在该方法中,准备具有第1主面及第1主面相反侧的第2主面,且包含位于第1主面与第2主面之间的边缘部的晶圆,将脱模剂涂布在晶圆的第2主面的一部分及边缘部而形成脱模剂层,在脱模剂层上形成将第2主...
五十岚健作
机壳平面研磨
本发明提供机壳平面研磨机,涉及研磨机领域。该机壳平面研磨机,包括机箱,所述机箱的后侧焊接有机壳,所述机壳的前端中部设有开口,所述机壳的内部焊接有固定板,所述固定板的表面安装有两条导轨,所述第一滑块的表面滑动连接有滑板,所...
毛露露王炳辉
一种平面研磨设备
本发明涉及机械设备领域,具体为一种平面研磨设备。所述研磨设备包括定位装置A、研磨盘B、研磨轮C、研磨头D和研磨液滴管F,研磨轮C放置在研磨盘B上方,研磨头D上方设置有气缸E,研磨盘B中间设计有驱动电机G,研磨盘B下方还设...
王国强郑彬吴威
一种平面研磨抛光机
本申请涉及一种平面研磨抛光机,涉及研磨抛光装置的技术领域,其包括研磨盒,底端呈开口状,且用于放置工件;磨料盒,设置于研磨盒的顶端,且用于向研磨盒内供应磨料;供风管,设置有两组,一组供风管连通于研磨盒的侧壁,另一组供风管连...
赵涛
一种行星式平面研磨
本发明公开了一种行星式平面研磨机,涉及磨削研磨装置技术领域,包括齿圈、下转台、太阳轮、上转台,和两片呈圆环状的金刚石研磨垫,两片金刚石研磨垫分别设于下转台和上转台相对的两个平面上;定位载具,定位载具上开设有多个第一定位孔...
郑连彬邓中华
一种陶瓷双平面研磨装置
本实用新型涉及陶瓷加工技术领域,公开了一种陶瓷双平面研磨装置,包括工作台和固定座,所述固定座的内部中部固定连接有电机一,所述电机一的输出端固定连接有螺纹杆,所述螺纹杆的外部螺纹连接有螺纹套,所述螺纹套的外部两侧均固定连接...
王瑜佳
一种圆弧摆动平面研磨装置
一种新型圆弧摆动平面研磨装置,包括电机支架、电机Ⅰ、刚性联轴器、下弧形导轨、圆柱齿轮Ⅰ、圆柱齿轮Ⅱ、牛眼轮、轴Ⅰ、齿轮固定架、下摆臂,上摆臂、上弧形导轨、固定竖板、电机板、弯轴,锥齿轮Ⅱ、电机Ⅱ、梅花联轴器、轴Ⅱ、圆柱齿...
文东辉肖燏婷王辉许鑫祺邹磊
一种双面平面研磨抛光机
本实用新型涉及工件抛光技术领域,提供一种双面平面研磨抛光机,包括研磨抛光机本体,所述研磨抛光机本体工作台与控制台,所述工作台顶端安装有下磨盘,所述控制台侧壁转动连接有转动臂,所述转动臂底部安装有下磨盘,所述下磨盘与上磨盘...
张安
一种行星式平面研磨
本发明公开了一种行星式平面研磨机,涉及磨削研磨装置技术领域,包括齿圈、下转台、太阳轮、上转台,和两片呈圆环状的金刚石研磨垫,两片金刚石研磨垫分别设于下转台和上转台相对的两个平面上;定位载具,定位载具上开设有多个第一定位孔...
郑连彬邓中华
一种石英件平面研磨监测装置
本发明涉及石英件加工技术领域,且公开了一种石英件平面研磨监测装置,包括研磨盘、驱动电机、支撑架,研磨盘转动设置在支撑架上,研磨盘底部设置有驱动电机,研磨盘的下表面与支撑架上表面之间设置有液流槽,液流槽外侧设置有密封环,研...
蔡彬王飞华郑涛李建斌

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文东辉
作品数:500被引量:741H指数:14
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研究主题:抛光 动压 研磨盘 抛光装置 研磨
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作品数:393被引量:1,653H指数:21
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研究主题:机床 并联机构 数控机床 边界元法 机器人
周兆忠
作品数:289被引量:345H指数:10
供职机构:衢州学院
研究主题:磨粒 抛光 固着 研磨 抛光液
杨新刚
作品数:88被引量:251H指数:8
供职机构:西安理工大学机械与精密仪器工程学院
研究主题:并联机构 机床 微动 导轨 回转轴
袁巨龙
作品数:483被引量:1,357H指数:16
供职机构:浙江工业大学
研究主题:抛光 磨粒 研磨 研磨盘 抛光液