搜索到324篇“ 双轴加速度传感器“的相关文章
全部数字资源类型
相关度排序
双轴加速度传感器
本发明提供了一种双轴加速度传感器，其包括基底和固定在所述基底上的检测传感单元。所述检测传感单元包括质量块、由所述质量块延伸出的梳齿状的第一动电极和第二动电极部，所述第二动电极部包括电极壁和由所述电极壁延伸出的梳齿状的第二...
张睿王琳琳
文献传递
双轴加速度传感器
本发明提供了一种双轴加速度传感器，其包括基底和固定在所述基底上的检测传感单元。所述检测传感单元包括质量块、由所述质量块延伸出的梳齿状的第一动电极和第二动电极部，所述第二动电极部包括电极壁和由所述电极壁延伸出的梳齿状的第二...
张睿王琳琳
一种双轴加速度传感器及其安装、测量方法
本发明涉及一种双轴加速度传感器及其安装、测量方法，属于加速度传感器技术领域，包括底座、敏感芯体、壳盖和接嘴；所述底座上端外壁套接壳盖，壳盖上端内部插接接嘴，接嘴下端连接有引线，引线与壳盖内部的敏感芯体相连接；敏感芯体包括...
曹光利郇正利徐俊飞
一种双轴加速度传感器及其安装、测量方法
本发明涉及一种双轴加速度传感器及其安装、测量方法，属于加速度传感器技术领域，包括底座、敏感芯体、壳盖和接嘴；所述底座上端外壁套接壳盖，壳盖上端内部插接接嘴，接嘴下端连接有引线，引线与壳盖内部的敏感芯体相连接；敏感芯体包括...
曹光利郇正利徐俊飞
一种基于三音叉TPoS谐振器的双轴加速度传感器
本发明公开了一种基于三音叉TPoS谐振器的双轴加速度传感器，属于微机电技术领域。本发明所述加速度传感器由质量块、解耦梁、三级微杠杆、三音叉TPoS谐振器和SOI基底构成，其中三级微杠杆的设计方案使得器件占用面积大幅减小，...
涂程周威豪李磊张晓升
双轴加速度传感器专用吸塑盒
本实用新型公开了双轴加速度传感器专用吸塑盒，包括底盒体和顶盒体，所述底盒体和顶盒体外侧壁一侧分别固定有两个底轴盖和两个顶轴盖。本实用新型中，设置有底盒体、顶盒体、底轴盖、顶轴盖、缓冲结构、缓冲平板、弹簧、第一连接板、第二...
吴亚媛
一种防雷耐压双轴加速度传感器
本实用新型公开了一种防雷耐压双轴加速度传感器，包括：外壳，该外壳在相互垂直的两个平面上分别开设有第一盲孔、第二盲孔；设置于第一盲孔中的第一传感器核心单元和第一绝缘组件，第一绝缘组件设置在第一传感器核心单元外部，用于隔离第...
方亚林王之剑徐杨许凌波张林飞
文献传递
一种面内双轴加速度传感器芯片及其制备方法
一种面内双轴加速度传感器芯片及其制备方法，芯片采用SOI硅片制成，包括芯片外框架，芯片外框架每一侧与两个质量块之间通过支撑梁连接，支撑梁为“T”型结构，其一端固定于芯片外框架，另外两端分别与延伸梁和质量块连接；敏感压阻微...
赵立波贾琛罗国希于明智杨萍李支康王久洪蒋庄德
文献传递
一种压阻式双轴加速度传感器芯片及其制备方法
本发明公开了一种压阻式双轴加速度传感器芯片及其制备方法，传感器芯片包括键合的传感芯片和玻璃衬底，传感芯片包括芯片外框架、固定半岛、质量块、支撑梁、压阻微梁和铰链梁；芯片外框架的内壁分别设置有一个固定半岛，芯片外框架内部设...
赵立波贾琛罗国希于明智韩香广王路杨萍李支康高文迪陈瑶王久洪蒋庄德
一种温度自补偿的面内双轴加速度传感器及温度补偿方法
本发明公开了一种温度自补偿的面内双轴加速度传感器及温度补偿方法，包括质量块，质量块的周围呈中心对称均匀布置有多组谐振敏感元件，当面内任意方向、任意大小的加速度施加于器件时，质量块同时对多组谐振敏感元件施加应力，改变其本征...
韦学勇王曙东徐柳朱威龙蒋庄德
文献传递
加载更多 ∨

相关作者

邱志成
作品数：476被引量：595H指数：14
供职机构：华南理工大学
研究主题：控制装置 柔性梁 压电驱动器 柔性板 振动控制
蒋庄德
作品数：995被引量：1,034H指数：14
供职机构：西安交通大学
研究主题：传感器芯片 电极 传感器 芯片 压阻
于明智
作品数：28被引量：2H指数：1
供职机构：西安交通大学
研究主题：压敏电阻 压阻式 压阻 传感器芯片 轴向变形
杨萍
作品数：109被引量：54H指数：5
供职机构：西安交通大学
研究主题：传感器 压电 压阻 压阻式 逆压电效应
赵立波
作品数：382被引量：120H指数：7
供职机构：西安交通大学
研究主题：传感器芯片 传感器 电极 压阻 芯片