搜索到1021篇“ 压电陶瓷微位移驱动器“的相关文章
- 压电陶瓷微位移驱动器建模与控制被引量：53
- 2013年
- 考虑利用白光干涉仪进行表面三维形貌测量时压电陶瓷(PZT)的蠕变效应对微位移驱动器位移精度的影响,提出了一种沿参考镜光轴方向提高该驱动器位移精度的方法。系统研究了该驱动器的位移检测回路、PID闭环控制以及蠕变补偿控制;利用光电位置传感器和光学杠杆调节位移检测回路,将压电陶瓷驱动器微位移反馈至控制系统,建立PID闭环控制。充分考虑了PZT蠕变特性对测量过程的影响,建立了"电压蠕变"补偿模型,实现了基于PID闭环控制与蠕变补偿控制相结合的复合控制方法。利用XL-80激光干涉仪测量压电陶瓷驱动器在PID闭环控制和复合控制二种情况下的微位移,实验结果显示前者位移误差为0.007μm,后者位移误差为0.005μm。结果表明该方法可有效克服压电陶瓷迟滞非线性和蠕变对测量结果的影响,满足表面三维形貌测量的高精度要求。
- 刘泊郭建英孙永全
- 关键词：压电陶瓷PID闭环控制
- 大负荷压电陶瓷微位移驱动器及其制作方法
- 本发明公开了大负荷压电陶瓷微位移驱动器及其制作方法。所述的大负荷压电陶瓷微位移驱动器包括弹性膜片(2)、上压板(3)、M组1号压电组件(4)、1号下底板(6)与定位套(7)。定位套(7)的下端装入1号下底板(6)的中心通...
- 张学成明绍寒张晟
- 文献传递
- 大负荷压电陶瓷微位移驱动器及其制作方法
- 本发明公开了大负荷压电陶瓷微位移驱动器及其制作方法。所述的大负荷压电陶瓷微位移驱动器包括弹性膜片(2)、上压板(3)、M组1号压电组件(4)、1号下底板(6)与定位套(7)。定位套(7)的下端装入1号下底板(6)的中心通...
- 张学成明绍寒张晟
- 压电陶瓷微位移驱动器在FY—3卫星G型辐射制冷器上的应用被引量：4
- 2008年
- 压电陶瓷微位移驱动器是利用逆压电效应来实现电控位移并产生驱动力的一种新型微位移器件。FY—3气象卫星有效载荷中分辨率光谱成像仪(MERSI)采用大冷量G型辐射制冷器冷却碲镉汞(HgCdTe)红外探测器,即长波红外和短波红外线列探测器,分别安装在辐射制冷器二级和一级上。在对G型辐射制冷器的后光路校核过程中,根据传递函数(MTF)值确定其相对于红外探测器组件的最终位置。压电陶瓷微位移驱动器作为真空和低温下红外透镜组件的驱动工具。
- 涂锋华王维扬董德平付立英
- 关键词：压电陶瓷微位移驱动器
- 压电陶瓷微位移驱动器输出特性的研究
- 作为前沿科技一纳米技术发展的关键技术之一,精密定位技术己成为许多现代工业领域和前沿科学技术研究的共同基础.压电陶瓷微位移驱动器具有体积小,位移分辨率高,频响高,承载力大等特点,广泛应用于精密定位技术中.但是,由于压电陶瓷...
- 李森
- 关键词：微位移驱动器压电陶瓷正交试验人工神经网络
- 文献传递
- 压电陶瓷微位移驱动器及其面形干涉仪
- 本实用新型提供了一种能精密和灵敏地传动的压电陶瓷微位移驱动器及其面形干涉仪。压电陶瓷微位移驱动器由压电陶瓷、微纳米传动机构和压电陶瓷微位移控制系统组成，所述微纳米传动机构采用带有柔性铰链的活动杆件，所述活动杆件的横截面尺...
- 牟仲财陈果王涛
- 文献传递
- 应变反馈式压电陶瓷微位移驱动器的研制被引量：3
- 2005年
- 介绍了采用应变片测量压电陶瓷微位移驱动器位移的原理和设计思想,介绍了实验装置的结构,给出了实验结果,证明将应变片直接粘贴在压电陶瓷基体表面测量其位移的方法是可行性的;通过对压电陶瓷滞回特性的测定,提出了建立压电陶瓷的控制模型的基本思路。
- 李华丰赵新丽朱振宇严家骅万宇
- 关键词：压电陶瓷应变片滞回特性
- 压电陶瓷微位移驱动器在活塞仿形加工中的应用被引量：4
- 2004年
- 分析了活塞仿形加工方法中存在的不足,提出了应用压电陶瓷微位移驱动器进行实时误差补偿,改善和提高活塞仿形加工性能的方案.针对压电陶瓷驱动器的非线性特性,给出了对其控制电压进行校正的方法.采用所提出的误差补偿方法能够有效提高活塞加工精度.
- 秦月霞胡德金
- 关键词：压电陶瓷驱动器活塞仿形加工
- 压电陶瓷微位移驱动器在IC封装设备中的应用研究被引量：5
- 2002年
- 在IC封装设备中 ,由于直线导轨的扭摆 ,造成的封装工作台工作梁末端的定位误差 ,是使工作台定位精度降低的一个主要原因。由于IC封装的高速高精度特性 ,使一般的误差补偿系统无法在其上进行应用。本文讨论了一种基于压电陶瓷的新的误差补偿方法 ,该方法通过电涡流传感器对直线导轨偏摆误差进行测量 ,从而在末端用压电陶瓷微位移补偿系统进行偏摆误差补偿 。
- 孙立宁杨永曲东升
- 关键词：压电陶瓷微位移驱动器封装设备集成电路
- 晶体结构对压电陶瓷微位移驱动器特性的影响被引量：5
- 1997年
- 对钙钛矿结构的ＰＺＴ－５和钨青铜结构的ＰＢＮＮ二种压电陶瓷制成的压电微位移器进行了电压－位移特性的比较和分析，发现我们所研制的ＰＢＮＮ压电微位移器具有线性好、回零好、能对称工作等优点。从ＰＺＴ－５和ＰＢＮＮ陶瓷的晶体结构出发，分析了二种材料由于具有不同的晶体结构而导致的不同电压－位移行为。
- 陈大任李国荣朱梅根张望重张申殷庆瑞
- 关键词：压电陶瓷驱动器晶体结构
