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化学气相沉积装置
本发明提供了一种化学气相沉积装置及化学气相沉积方法。化学气相沉积装置用于制备薄膜材料，包括第一腔室、第二腔室、过渡腔室、底盘以及传送机构。第一腔室和第二腔室用于薄膜材料的生长或后处理。过渡腔室通过隔离件分别连通于第一腔室...
刘忠范彭海琳高翾张金灿刘晓婷马瑞李广亮孙禄钊贾开诚
一种化学气相沉积系统
本实用新型涉及化学气相沉积技术领域，公开了一种化学气相沉积系统，包括基架以及反应罐，所述反应罐内侧滑动设置有基体，所述基体底部两侧固定连接有对称设置的支撑杆，所述反应罐底部两侧开设有对称设置的开口，且两个开口内壁均固定连...
廖雅婷
化学气相沉积设备及方法
本发明提供了一种化学气相沉积设备及方法，在化学气相沉积设备中，气体缓冲盘包括叠放在一起的第一盘体和第二盘体，第一盘体设置有若干第一通气孔，第二盘体设置有若干第二通气孔，并通过将驱动装置与指定盘体进行传动连接。这样，在化学...
孙晓涵闫晓晖拉海忠
一种激光辅助化学气相沉积系统
本发明公开了一种激光辅助化学气相沉积系统，属于化学气相沉积技术领域，能够解决现有化学气相沉积系统沉积质量较差、沉积成本较高且应用范围较窄的问题。所述系统包括：沉积模块，用于利用化学气相沉积法在试样表面沉积薄膜；激光模块，...
谢青秀张豪贺年周云臧春和
一种化学气相沉积设备及其控制系统
本发明属于化学气相沉积技术领域，具体涉及一种化学气相沉积设备及其控制系统，本发明的化学气相沉积设备控制系统包括上位机和控制系统，所述控制系统包括人机交互接口模块、功能控制模块和输入输出模块，所述控制系统通过人机交互接口模...
程金帅李宏利孙胜浩
一种金属有机化学气相沉淀设备
本实用新型涉及化学气相沉积技术领域，且公开了一种金属有机化学气相沉淀设备，包括设备主体，所述设备主体的表面固定安装有把手，所述设备主体的内壁设置有调节机构；所述调节机构包括抽液泵，所述抽液泵固定安装于设备主体的顶部，所述...
李聪聪
一种化学气相沉积设备用进气机构
本实用新型公开了一种化学气相沉积设备用进气机构，属于化学气相沉积技术领域，用于解决现有多种气体直接送入沉积炉内部，各种气体在沉积室内部分布较散，影响沉积效果的问题；包括沉积炉体，所述沉积炉体的下端设置有进气管，所述进气管...
黄波丁正和陈华顺刘东来何军张建耀
一种补气装置及其化学气相沉积炉
本实用新型属于化学气相沉积领域，具体是涉及到一种补气装置及其化学气相沉积炉，其中一种补气装置包括炉体、进气结构以及出气结构；进气结构包括工件外侧补气管和工件内侧补气管；工件内侧补气管沿多个待沉积工件的堆叠方向布置，工件内...
刘超尹宜辉王振兴邓雄志王建伟
一种用于化学气相沉积设备喷淋装置
本实用新型公开了一种用于化学气相沉积设备喷淋装置，涉及化学气相沉积技术领域，用于解决喷淋装置存在原材料浪费和沉积不够均匀的问题，包括调节机构，通过设置有调节机构，通过传动带，使得往复丝杠通过传动带带动双向丝杠转动，实现了...
黄波万意丁正和刘东来何军张建耀
多步化学气相沉积衬底样品隔离装置
本发明涉及气相沉积技术领域，尤其涉及一种多步化学气相沉积衬底样品隔离装置；本发明的多步化学气相沉积衬底样品隔离装置包括管式炉、真空组件、板阀、隔离腔和传样杆；管式炉用于提供多步化学气相沉积反应的温度和气氛，内部设有可加热...
申德振邓祺鑫景鹏涛詹达闫家旭鲍洋徐辑廉徐海刘雷
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成来飞
作品数：851被引量：2,003H指数：23
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李贺军
作品数：1,455被引量：3,429H指数：28
供职机构：西北工业大学
研究主题：碳复合材料 碳 C/C复合材料 炭复合材料 复合材料
张立同
作品数：720被引量：2,178H指数：24
供职机构：西北工业大学
研究主题：陶瓷基复合材料 C/SIC复合材料 复合材料 化学气相渗透 C/SIC
熊翔
作品数：834被引量：2,442H指数：23
供职机构：中南大学
研究主题：C/C复合材料 炭复合材料 抗烧蚀 微观结构 摩擦磨损性能
韩高荣
作品数：1,291被引量：1,707H指数：19
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研究主题：SUB 钛酸铅 矿化剂 二氧化钛 镀膜玻璃