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李俊峰
作品数：521被引量：7H指数：2
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 刻蚀 衬底 沟道 栅极
赵超
作品数：566被引量：37H指数：4
供职机构：清华大学
研究主题：半导体器件 衬底 栅极 沟道 金属硅化物
殷华湘
作品数：745被引量：17H指数：2
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 沟道 栅极 衬底 鳍片
胡辉勇
作品数：471被引量：196H指数：7
供职机构：西安电子科技大学
研究主题：应变SI BICMOS 双极器件 多晶 光刻
张鹤鸣
作品数：478被引量：272H指数：9
供职机构：西安电子科技大学
研究主题：应变SI BICMOS 双极器件 多晶 光刻